VDMOS(VMOS) 、UMOS (UDMOS、UVDMOS)
采用DMOS工艺的VMOS最初称为VDMOS( Vertical Double-diffusedMOSFET,垂直沟道,双扩散MOSFET)和VVDMOS( V-groove VerticalDouble-diffused MOSFET,V形槽栅垂直沟道双扩散MOSFET)。这是直到目前仍然是绝对主流的功率MOSFET品种。因此在国内,如果没有特别说明,VMOS大都是泛指功率MOSFET,在外文资料中,很多时候也是如此。
另一种与VMOS非常相近的是UMOS,顾名思义,这种功率MOSFET栅极驱动电路区的形状与英文字母“u”非常相似(图1. 17)。
因为UMOS出现时,DMOS丁艺已经成为主流,UMOS理所当然地会采用DMOS工艺,因此UMOS最初称为UDMOS(U-groove Double-diffusedMOSFET,U形槽栅双扩散MOSFET)、UVDMOS(U-groove Vertical Double-diffused MOSFET,U形槽栅垂直沟道双扩散MOSFET)。除非有特别说明,UMOS与UDMOS,UVDMOS并无不同。