MOS管-衬底偏置效应图文详解分享-KIA MOS管
衬底偏置效应,就是当衬底(body/substrate)和源(source)之间的电势差Vbs不为零的时候,所产生的一些效应的统称。
以Bulk NMOS为例,来说一下Vbs不为零的时候会发生什么。
1、第一个衬底偏置效应,阈值电压(Vth)会发生变化。
上图中,Vthc_7为阈值电压(具体来说,是用恒定电流法求得的阈值电压,参考电流为Lg/Wg*10^-7)。Lg为栅氧化层长度,tox为栅氧化层厚度。栅氧化层宽度Wg=10um。Vds为源漏之间电压,此处为50mV,处于线性区。
由上图我们可以观察到,在给衬底加上负偏压之后,NMOSFET的阈值电压会相应上升。这是最为重要的一个衬底偏置效应。(上图中还可以观测到短沟道效应和反短沟道效应,此处不展开)。关于这一衬底偏置效应的解释,可以从能带图来入手。
上图是一个NMOS能带图。此处需要注意:能带图是“能量图”,是用来表征电子的能量的图。电子的能量等于 电子所带电荷*电子的电势 。因为电子带负电,所以电势越高,能量越低。
如果我们给衬底加上负压,那么衬底的电子能量会变高(也就是图中G区域会变高)。也就是说源漏之间的势垒高度会变高。那么必然需要更大的栅极电压才能导通源漏,也就是说,阈值电压变高了。
2、第二个衬底偏置效应,亚阈值摆幅(subthreshold swing)会变化。
根据亚阈值摆幅的公式:
上面公式中的CD减小;S会减小。
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