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​mos管的掺杂浓度,mos管掺杂类型-KIA MOS管

信息来源:本站 日期:2024-05-14 

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mos管的掺杂浓度,mos管掺杂类型-KIA MOS管


mos管的掺杂浓度

MOS管是一种基于金属-氧化物-半导体结构的场效应晶体管,由金属栅极、氧化物绝缘层和半导体衬底组成。

其中,半导体衬底上形成了一个N型或P型沟道区域,该区域被氧化物绝缘层隔离,并通过金属栅极施加电场控制着沟道区的导通和截止。

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掺杂浓度对MOS管性能的影响

1.电阻率:与掺杂浓度成反比例关系;

2.阈值电压:与掺杂浓度成正比例关系;

3.漏电流:与掺杂浓度成指数函数关系;

4.迁移率:与掺杂浓度呈现抛物线形状。


N沟道MOS管的掺杂浓度

1.沟道区掺杂浓度:一般在1e15/cmへ3~5e16/cmへ3之间;

2.衬底掺杂浓度:一般在1e16/cmへ3~5e18/cmへ3之间;

3.接近衬底表面的沟道区掺杂浓度:一般要比深处高,因为表面态的影响。


P沟道MOS管的掺杂浓度

1.沟道区掺杂浓度:一般在1e15/cmへ3~5e16/cmへ3之间;

2.衬底掺杂浓度:一般在1e16/cmへ3~5e18/cmへ3之间;

3.接近衬底表面的沟道区掺杂浓度:同样要比深处高。


mos管掺杂类型

MOS管的掺杂类型主要分为P型和N型。

P型半导体是通过掺杂三价元素(如硼)形成的,其中空穴(多子)为主要载流子,因此P型半导体中空穴的浓度较高。P型半导体的特点是具有较高的空穴浓度,使其在电导性上表现为正电性。


N型半导体则是通过掺杂五价元素(如磷)形成的,其中电子(多子)为主要载流子,因此N型半导体中电子的浓度较高。N型半导体的特点是具有较高的电子浓度,使其在电导性上表现为负电性。


MOS管的工艺上为何要用两层掺杂浓度不同的N型半导体来做N区?

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图中的N+是衬底(Substrate) ,N+表示高浓度N型参杂,衬底是构建MOSFET的基础(类似于盖房子的地基)。 N-为外延层,N-表示低浓度参杂,在MOSFET截止时N-形成耗尽区,以保证MOSFET具有标称的耐压。N+与漏极的电极连接,高浓度参杂以降低其电阻率。


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